モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2026年7月号掲載
資料請求No.1260701706

計測・試験・光学

計測機器

半導体ウェットプロセス最適化に貢献

光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター

株式会社堀場アドバンスドテクノ

京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地

　「CS-900F」は洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液の濃度モニター。PFA配管に取り付けて薬液を「非接触」で測定することで薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減し、プロセスの安定化に貢献する。