モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2026年2月号掲載
資料請求No.1260202703

計測・試験・光学

計測機器

従来比100倍の精度を実現

半導体ウエハー接触式段差計

株式会社小坂研究所

東京都千代田区外神田6丁目13番10号プロステック秋葉原3F

　「NT1520」は従来品比100倍程度の精度で薄膜やエッチングパターン、配線層などの段差を計測できる。考案した直動式の検出方法はウエハー上の段差を直接計測し、分解能は0．1nm。4、6、8インチウエハーに対応する。