モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2026年2月号掲載
資料請求No.1260201502

機械・ロボット

運搬荷役機械

SiCウエハーを高クリーン搬送

ウエハー非接触搬送ソリューション

株式会社ハーモテック

山梨県甲府市住吉4丁目1-32

　「KUMADE−ECシリーズ」は反りや歪みが発生しやすい炭化ケイ素（SiC）ウエハーをエアの力で主要面に触れずに搬送できる。非接触のため高クリーン搬送を実現し、パーティクルの付着を低減する。