モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2025年12月号掲載
資料請求No.1251202804

計測・試験・光学

計測機器

検出感度10nm

凝縮型気中パーティクルカウンタ

PMS日本支社(スペクトリス株式会社 PMS事業部)

神奈川県川崎市川崎区日進町7-1 川崎日進町ビル4F

　「NanoAir 10」はウエハ搬送モジュール（EFEM）内やプロセス装置内の常時モニタリングを念頭に開発。流量2.8L/分で測定し、粒径10nmの微粒子を検出する。凝縮型でありながら、従来型の扱いやすさを備える。