モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2025年5月号掲載
資料請求No.1250501904

機械・ロボット

産業用機械

優れた洗浄能力と安定性・信頼性を両立

枚葉式ウェーハ洗浄装置

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1

　「SS-3200 for 200mm」は、200mmウェーハに対応した枚葉式ウェーハ洗浄装置（スピンスクラバ）。最大毎時500枚のハイスループットを実現したほか、装置稼働時のウェーハ1枚当たりの純水使用量を削減し、環境負荷の低減にも貢献。