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「新製品情報誌」2023年9月号掲載
資料請求No.1230902601

計測・試験・光学
光学機器

欠陥検査/レビューと3次元形状測定を1台で実現

コンフォーカル顕微鏡

レーザーテック株式会社
神奈川県横浜市港北区新横浜２－１０－１

　共焦点（コンフォーカル）顕微鏡自動検査/レビュー装置「OPTELICS AI2」は、自動欠陥検査、高倍率欠陥レビュー、3次元形状測定までをシームレスに1台で実現。半導体デバイスの開発から生産に至るまで様々な場面で活躍できる。

コンフォーカル顕微鏡
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欠陥検査/レビューと3次元形状測定を1台で実現
コンフォーカル顕微鏡
レーザーテック株式会社（神奈川県横浜市港北区新横浜２－１０－１）
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