モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2025年11月号掲載
資料請求No.1251102505

計測・試験・光学

計測機器

分解能0.6nmの測定精度

静電容量方式非接触変位計「PS-IA」

ユニパルス株式会社

東京都中央区日本橋久松町9-11

　「PS-IA」は分解能0.6nmの高精度変位計。対象が導体であれば材質により感度が変わらず表面粗さの影響も受けない。精密なステージの位置決めや隙間、厚み、平面度などが高精度に測定できる。液体と気泡の誘電率の違いにより気泡量の測定も可能。クーラント液中の気泡やエンジンオイル中の気泡量の測定など幅広い用途に適応。カスタマイズ可能で半導体製造・検査装置に多数の実績。