モノづくり現場の業務改善や開発にあらたな着想を得る新製品・サービス情報を発信｜日刊工業新聞社「新製品情報」

「新製品情報誌」2025年11月号掲載
資料請求No.1251102504

電子機器・部品

センサー

高精度・高速応答な荷重測定が可能

シリコーンフリーロードセル「UWR」

ユニパルス株式会社

東京都中央区日本橋久松町9-11

　「UWR」は半導体製造装置への組み込みに最適なシリコーンフリーロードセル。精度0.03％FS、固有振動数2.5kHzと高精度・高速応答な荷重測定が行える。シロキサンを発生させないため、ウェハ搬送ロボットの把持力管理や研磨時の押し圧管理、チップマウンタの荷重制御、ワイヤーボンディング時の押し圧管理などに最適。装置に合わせた容量、形状の特注も柔軟に対応する。