低電流印加と高精度測定を両立ー低電流導体信頼性評価システム（エスペック・大阪市北区）

　「AMR-SPM」は低電流印加と高精度測定を両立する新開発の導体抵抗評価システム。試料に過度な負荷を与えない微小電流を印加し、低抵抗変化を高精度に捉えることで、接合材やプロセス条件が接続信頼性に与える影響を評価できる。

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