日刊工業新聞社が発行するエレクトロニクス、メカトロニクス関連製品の情報誌「新製品情報」のWEBサイトです

「新製品情報誌」2015年3月号掲載
資料請求No.1150303701

産業機器

ポンプ

電気二重層キャパシタ内蔵　電動高速開閉弁（EECV）

株式会社フジキン

大阪府大阪市北区芝田1-4-8

(株)フジキンは、半導体製造装置用に新型電動ダイレクトダイヤフラムバルブ（EECV^TM（ダブルイーシーブイ））＝写真＝のサンプル出荷を開始しました。従来のECV（R）に比べ組込型電源の開発等でシステム全体を一体・小型化。大幅な実装性の向上と低コスト化を実現しました。半導体製造プロセスガスの切り替えに使用されている空圧弁に比べ、EECV^TMは応答性が約1/20（5msec以下）と極めて速く、急峻なガス切り替えにより半導体及びLEDデバイスの高精度な成膜制御が可能。経済産業省の戦略的基盤技術高度化支援事業（2011〜2013年度）のテーマとして採択され、大阪大学藤原研究室と共同で技術開発したものです。棒状のステムと一体の可動鉄心を、ソレノイドに通電し電磁誘導で吸引させることでバルブは開となり、遮電により吸引力を開放しバネの力でバルブ閉にする構造になっています。